Laserová fotochemie chlormetylsilanu a silacyklopent-3-enu pro chemickou deposici Si/C/H a Si/H fází z plynné fáze

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Hlavní účastníci

Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Laser photochemistry of (chloromethyl)silane and silacyclo-pent-3-ene for chemical vapour deposition of Si/C/H and Si/H phases

Anotace anglicky

The research will address infrared laser-induced decomposition of (chloromethyl)silane and silacyclopen-3-ene carried out as both IR laser multiphoton decomposition and IR laser photosensitized (SF6) decomposition. Chemistry taking place in the gas phasewill be studied in conjunction with properties of solid films deposited from the gas phase on various substrates.It is expected to that the above processes will occur via pathways not achievevable in conventional thermal chemistry and that the obtained deposits will exhibit promising properties (optical gap, morphology, stoichiometry) which will qualify them for use in microelectronics.The IR laser-induced decompositions will be examined at different conditions (pressure, fluence, effect of inert gas) in order to determine the dependence of their course on these conditions and to optimize these processes for chemical vapour deposition of films which are in demand.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

CH - Jaderná a kvantová chemie, fotochemie

CEP - vedlejší obor

CA - Anorganická chemie

CEP - další vedlejší obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10402 - Inorganic and nuclear chemistry<br>10403 - Physical chemistry

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Experimentálně náročný výzkum vyžadující špičkovou instrumentální techniku, byl zaměřen na objasnění mechanismu a charakteristiku různých plynných produktů, meziproduktů i finálních deponovaných tenkých organokřemičitých vrstev při laserové pyrolýze či k

Zahájení řešení

1. 1. 2000

Ukončení řešení

1. 1. 2001

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2002/GA0/GA02GA/U/N/7:3

Datum dodání záznamu

1. 4. 2003

Celkové uznané náklady

1 995 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 236 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 382 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč