Hmotnostní a energetická analýza toku částic při vytváření tenkých vrstev metodami nízkoteplotního plazmatu

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Mass and energy analysis of the particle flow in low-temperature plasma based deposition of thin films

Anotace anglicky

The proposed project aims at clarification of the basic chemical and physical processes during deposition of thin films by selected methods employing low-temperature plasma. Firstly, reactive magnetron sputter deposition of nano-composite thin films (sucas W-Ti-N, Ni-Ti-N) from an alloy target in a mixture of argon and nitrogen will be analysed. To this end an unbalanced planar magnetron deposition apparatus will be equipped with an energy selective mass spectrometer Hiden EQP500. The chemical composition and energy distribution of particle flux to the substrate will be measured as a function of discharge parameters (pressure, composition of the working gas, discharge current, distance from the cathode). The radial homogeneity of the particle flux willbe checked. The main species responsible for the film growth and the main constituents of the ion flux will be identified. Finding correlation between measured particle flux parameters and film properties will be attempted. In the next stage,

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JI - Kompositní materiály

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

V rámci řešení projektu byly získány nové poznatky z oblasti vytváření tenkých vrstev WTi, WTiN, TiN, TiO, TiC:H a vrstev tvrdého uhlíku. Při nanášení tenkých vrstev byly použity magnetronové naprašování a plazmově aktivovaná depozice z plynné fáze. Bylo

Zahájení řešení

1. 1. 1999

Ukončení řešení

1. 1. 2002

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2003/GA0/GA03GA/U/N/9:7

Datum dodání záznamu

19. 5. 2008

Celkové uznané náklady

1 661 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

666 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 636 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč