Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace

Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 19 (SGA0201500001)
Hlavní účastníci
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.<br>Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta<br>Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
15-00863S

Název projektu anglicky
A study of impulse plasmatic systems for deposition of thin layers with applications in photonics
Anotace anglicky
The project aims at the experimental research of low temperature pulsed plasma generated in the systems of planar dc-magnetron and hollow cathode plasma jet. Advanced methods of plasma diagnostics will be applied in these deposition systems during the reactive sputtering of dielectric layers. Such systems including those in hybrid arrangement will be optimized for depositions mainly of Fe2O3 or Fe1-xZnxO layers that will be subsequently sulfurized to FeS2 or Fe1-xZnxS, which are prospective materials for cheap production of thin film photovoltaic devices. The research will also pursue the preparation of ZnO, TiO2, etc. thin films as the suitable candidates for creation of heterogeneous P-N junction. The deposited films will be analyzed using a rich set of characterization techniques. We propose the cooperative research of three experienced research partners from the Faculty of Mathematics and Physics of the Charles University in Prague, the Institute of Physics AS CR in Prague and the Faculty of Sciences of Masaryk University in Brno.

Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Projekt naplnil stanovené cíle a značně překročil množství očekávaných publikačních výstupů. Výsledky projektu přinesli řadu nových poznatků v oblasti studia pokročilých depozičních metod tenkých fotocitlivých vrstev a také v oblasti vývoje diagnostiky těchto procesů. Výsledky projektu jsou inspirativní pro další studium v dané oblasti jak z hlediska základního tak i aplikovaného výzkumu.

Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP18-GA0-GA-U/02:1
Datum dodání záznamu
4. 5. 2018

Podobné projekty(10)