Kvantitativní zobrazování radiačně senzitivních vzorků pomocí korelativní detekce signálů v cryo-SEM
Veřejná podpora
Poskytovatel
Grantová agentura České republiky
Program
Standardní projekty
Veřejná soutěž
Standardní projekty 21 (SGA0201700001)
Hlavní účastníci
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
17-15451S
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Quantitative imaging of beam sensitive samples using correlative signal detection in a cryo-SEM
Anotace anglicky
Detailed analysis of electron beam sensitive samples by scanning electron microscope (SEM) is in many cases the compromise between the quality of detected signal and the beam damage of the sample. The use of high currents, which are necessary for several analyses, causes destruction of the sample structure. To estimate the limit of significant damage formation it is possible to use quantitative evaluation of electron-sample interactions. The aim of the project is the research in the field of advanced detection systems in SEM that will lead to development of new quantitative imaging method containing the correlation of various signals produced during interaction of electrons and beam sensitive material in the temperature ranging from room temperature to temperature reached by cooling using liquid helium. Emphasis is placed on the sample preparation using cryo-techniques, where we can expect the preservation of the sample structures close to their native state. The project includes the development of experimental apparatus, dedicated software and methodology to test selected samples.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
CEP - vedlejší obor
JC - Počítačový hardware a software
CEP - další vedlejší obor
JD - Využití počítačů, robotika a její aplikace
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering<br>20204 - Robotics and automatic control<br>20205 - Automation and control systems<br>20206 - Computer hardware and architecture
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Cíle projektu, zaměřeného na výzkum nových metod pro kvantitativní SEM zobrazování pomocí korelace signálů elektronů a fotonů v SEM, za kryogenních teplot, v různých variantách (CT, STEM, cryo-SEM a další), byly splněny, bylo dosaženo nových výsledků. Výsledky byly publikovány v 5 publikacích v impaktovaných časopisech. Projekt byl řešen úspěšně, panel doporučuje hodnotit projekt jako splněný.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2017
Ukončení řešení
31. 12. 2019
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
10. 4. 2019
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP20-GA0-GA-U/02:1
Datum dodání záznamu
23. 7. 2020
Finance
Celkové uznané náklady
6 426 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
6 081 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
345 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč