Studium ultratenkých multivrstev užitím fotoelektronové spektroskopie a optické reflexe rtg. záření

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Hlavní účastníci

Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

A study of multilayers of ultra-thin films using X-ray photoelectron spectroscopy and x-ray reflectivity

Anotace anglicky

The project proposal suggests to study multilayers of ultra-thin films with an overall thickness below 10 nm by two complementary non-destructive techniques, such as Angle Resolved XPS (AR XPS) and X-ray Optical Reflectivity (XRR). While the latter technique has already become popular in analysis of multilayers, until now AR XPS has not been used yet in depth profiling of multilayers. To improve depth resolution accuracy of AR XPS (needed for multilayer analysis), a maximum entropy method which is robust to experimental noise and not restricted to small numbers of components will be used for deconvolution of composition depth profiles of multilayers. Applying these two complementary experimental methods, the accuracy of the analysis might be significantly improved. This is especially true for materials, atoms of which chemically react in the area of interfaces and form complex chemical compounds and structures. In the case of successful implementation of this novel approach, geometrical and

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

V souladu s cíli řešeného projektu byla vypracována metoda úhlově rozlišitelné fotoelektronové spektroskopie (AR XPS) využívající principu maxima  entropie za účelem rekonstrukce hloubkových profilů ultratenkých vrstev a multivrstev. Bylo provedeno detai

Zahájení řešení

1. 1. 2002

Ukončení řešení

1. 1. 2004

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2005/GA0/GA05GA/U/N/B:7

Datum dodání záznamu

2. 6. 2008

Celkové uznané náklady

2 600 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 729 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

871 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč