Studium nových nízkoteplotních plazmatických zdrojů pracujících za atmosférického tlaku z hlediska jejich využití pro depozice tenkých vrstev

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

202/05/2242

Název projektu anglicky

Investigation of new low temperature atmospheric pressure plasma sources for deposition of thin films

Anotace anglicky

Proposed project will be devoted to research and development of the new enviromentaly safe plasmatic technologies of thin films at the low temperatures of the substrate T< 80 deg C. New systems with plasma jets working at atmospheric pressures will be developed. Although research and development deals with these problematics, this technology was not satisfactory mastered up to now. Main effort will be concentrated on the speciál thin oxide films deposited on substrates with different thermal sensitivity. Particularly, TiO*, SiO* eventually Al2Ox and others similar thin films will be deposited, which are suitable and required in various branches of industry. Investigation of flow paterns near the jet output and substrate surface as well as 'In situ' measurement of plasma parameters and thin films properties will be correlated in order to optimize the deposition process.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Během řešení projektu byl proveden výzkum a optimalizace nízkoteplotních plazmových systémů pracujícíhc za vyššího tlaku - atmosférický barrier-torch výboj, MW plazmový surfatron s proudícim plazmatem.a planární dielektrický barierový výboj. Atmosférický

Zahájení řešení

1. 1. 2005

Ukončení řešení

31. 12. 2007

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

2. 5. 2007

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP08-GA0-GA-U/04:3

Datum dodání záznamu

16. 12. 2008

Celkové uznané náklady

2 430 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 890 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

810 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč