Vývoj a plazma-chemické aplikace supersonického tryskového systému dutých katod v plazma-chemickém reaktoru

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Univerzita Karlova / Matematicko-fyzikální fakulta

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

The development and application of the supersonic multi-hollow-cathode systém for the plasma-chemical reactor

Anotace anglicky

The goal of the proposed project is to carry out the complex study of the physicals and the physical and the plasmachemical processes in the multi-hollow-cathode jet. The project is based on the results of the research obtained with one hollow-cathode plasma-chemical reactor. The experiments proved namely the major chemical activity in the generated plasma channel and showed that it is possible to deposit the thin films with the defined stoichiometry. Fot example Ge3N4, Cu3N and recently C3N4. From thepoint of view of further technological use of the reactor with the hollow cathode it can be shown that the use of the multicathode systém can enable to deposit the composite layers and complicated sandwich structures and also deposit the thin films ontohollow and substrates of the complicated shape. Furthermore preliminary experiments showed that it is possible to increase the working gas pressure up to the atmospheric one. For the development of the plasma-chemical reactor with the multi-cathode systé

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BI - Akustika a kmity

CEP - vedlejší obor

JI - Kompositní materiály

CEP - další vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10307 - Acoustics<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20505 - Composites (including laminates, reinforced plastics, cermets, combined natural and synthetic fibre fabrics; filled composites)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byla vypracována technologie úpravy povrchu a depozice vrstev pomocí nízko- i vysokotlaké RF plazmové trysky vhodná zejména pro úpravu povrchů dutin a nerovných substrátů. Přínosem je rovněž vyvinutý systém optické a sondové 'in situ' diagnostiky plazmat

Zahájení řešení

1. 1. 1998

Ukončení řešení

1. 1. 1999

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2000/GA0/GA00GA/U/6:2

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

1 303 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 242 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč