Studium fyzikálních parametrů a optimalizace nově vyvinutých systémů pro plazmovou modifikaci povrchů

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)

Hlavní účastníci

Jihočeská univerzita v Českých Budějovicích / Přírodovědecká fakulta

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Investigation of physical parameters and optimisation of novel system for plasma surface treatment

Anotace anglicky

Recently the novel plasma chemical systems (reactors) have been developed. These systems employ the flow of the working gas for creation of the plasma channel: At first the radio frequency low pressure reactor which used the unipolar hollow cathode discharge. Secondly the high pressure unipolar torch discharge has been used as a source of plasmajet channel. From point of view of the thin film deposition it is very perspective to take advantage of a high chemical activity of the RF hollow cathode discharge and develop the multi jet system with hollow cathodes. This system enables to deposit alloy, composite thin films, multi-layer structures or gradient thin films onto flat surfaces, internal walls of cavities, tubes, or on the surface of components with complicated shapes. Up to now the described plasma-chemical systems have been successfully used only for deposition in some particular cases. For optimisation of these plasma-chemical systems it is necessary the other basic and applied

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

JP - Průmyslové procesy a zpracování

CEP - vedlejší obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - další vedlejší obor

CI - Průmyslová chemie a chemické inženýrství

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20401 - Chemical engineering (plants, products)<br>20402 - Chemical process engineering<br>20501 - Materials engineering<br>20705 - Remote sensing<br>20706 - Marine engineering, sea vessels<br>20707 - Ocean engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt byl zaměřen na aktuální problematiku studia RF buzených dutých katod a plazmatických kanálů a využití těchto systémů pro nové metody depozice tenkých vrstev. V oblasti teoretické byly vypracovány modely dějů v duté katodě. V oblasti diagnostiky p

Zahájení řešení

1. 1. 2000

Ukončení řešení

1. 1. 2002

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2003/GA0/GA03GA/U/N/9:7

Datum dodání záznamu

19. 5. 2008

Celkové uznané náklady

3 269 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 973 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 944 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč