Další rozvoj nenabíjející rastrovací elektronové mikroskopie nevodivých vzorků

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Further development of the non-charging scanning electron microscopy of non-conductive specimens

Anotace anglicky

The proposed project represents a continuation of the project no. 202/96/0961, in which the non-charging scanning electron microscopy method has been verified and elaborated. The method makes use of the critical energies of the electron impact at which the total yield of the emitted electron equals unity, so that no charge is dissipated into the specimen. The preceding project was mainly devoted to measurement of the critical energies, and the method is being advanced to an automatic routine of the computerized control system which finds the proper energy and creates an uncharged image. The proposed project includes the elaboration of a theoretical model of the critical energy measurement by means of the time development of the total electron emission.This model should contribute to method optimization, particularly as regards the accuracy and reliability of the results for sensitive and heterogeneous specimens. The main goal is to fit the noncharging microscopy method for some of its key im

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byla propracována metoda určování nenabíjející energie elektronů v rastrovací elektronové mikroskopii prostřednictvím snímání časového vývoje signálu emise elektronů a vypracován teoretický model procesu. Metoda umožňuje optimalizaci podmínek pro získání

Zahájení řešení

1. 1. 1999

Ukončení řešení

1. 1. 2001

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2002/GA0/GA02GA/U/N/7:3

Datum dodání záznamu

1. 4. 2003

Celkové uznané náklady

1 821 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 407 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 043 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč