Vybrané aplikace a další rozvoj metody zobrazení nevodivých preparátů v SEM s katodovou čočkou
Cíle projektu
Při kritické energii elektronů je množství dopadajících a emitovaných elektronů shodné a je tedy možné pozorovat nevodivé vzorky bez nutnosti pokovení. Uheterogenního preparátu se v zorném poli objevují lokální změny kritické energie a vytváří se povrchový náboj v závislosti na velikosti "zrn"vzorku. Tento jev bude studován na heterostrukturách , cíleně připravených pomocí elektronové litografie, a dále na různých typech nevodivých struktur, pro něž budou stanovovány podmínky zobrazení a meze použitelnosti metody. Budou prováděny vzorové experimenty pro řadu vybraných typů preparátů z oblastí biologie, medicíny a nauky o materiálu. Především půjde o struktury vláknité nebo práškové povahy, jejichž povrchy je velmi obtížné zvodivovat obvyklými postupy akteré jsou pro klasickou rastrovou elektronovou mikroskopii problematické. Budou vypracovávány návody pro nasazení metody v mikroskopické praxi.
Klíčová slova
non conductive specimeninsulatorchargingcritical energylow energy SEMcathode lensnon charging SEMheterogenous specimenhomogenous specimen
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Juniorské badatelské grantové projekty
Veřejná soutěž
Juniorské badatelské grantové projekty 1 (SAV02003-XJ)
Hlavní účastníci
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
—
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Selected applications and futher development of the method for imaging of insulators in the scanning electron microscope with a cathode lens
Anotace anglicky
At the critical electron energy the amounts of incident and emited electrons are identical so that nonconductive specimens can be observed without metal coating. With a heterogenous specimen local changes in the critical energy value appear over the viewfield and some surface charge is created in dependence of dimensions of the specimen "grains". This phenomenon will be studied on heterostructures, intentionally prepared by using of the electron lithography, and also on various types of real nonconductive heteerostructures, for which optimum experimental conditions will be estabilished as well as limitations to the method application. Demonstration experiments will be performed for series of selected specimens from biology, medicine and material science fields. First of all structures of a fibrous or powder nature will be treated as those which are difficult to be made conductive and observed with classical methods. Guidelines for practical use of the method will be elaborated.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - vedlejší obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - další vedlejší obor
EE - Mikrobiologie, virologie
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
10606 - Microbiology
10607 - Virology
20201 - Electrical and electronic engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Metoda zobrazení nevodivých vzorků je implementována do špičkového přístroje s termoemisní katodou. Modul automaticky najde kritickou energii, zaostří obraz a informuje o správném zvětšení. Správná funkce byla odzkoušena na řadě nevodivých preparátů.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2003
Ukončení řešení
1. 1. 2005
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP06-AV0-KJ-U/07:5
Datum dodání záznamu
12. 2. 2014
Finance
Celkové uznané náklady
1 024 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
806 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
1 024 tis. Kč
Statní podpora
806 tis. Kč
78%
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
CEP
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Doba řešení
01. 01. 2003 - 01. 01. 2005