Rastrovací elektronová mikroskopie nevodivých vzorků

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Program podpory cíleného výzkumu a vývoje

Veřejná soutěž

SAV0-SS2000

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Scanning electron microscopy of non-conductive specimens

Anotace anglicky

The proposers team has created an original method for a "non-charging" scanning electron microscopy of non-conductive speciment, based on utilization of the critical energy at which the impacting and emitted currents equal. We also designed and verifieda method of measurement of the critical energy by means of recording the videosignal vs. time dependence caused by charging. In the frame of a grant project, the mothod was verified on an experimental equipment, including principles of computer control enabling one to implement the above method into micriscopical practice. The aim of this project is to elaborate the method to a level corresponding to a modern electron microscope. This includes redesigning the electron optical assembly of the cathode lens and its experimental verification, and particularly develepment of algorithms for energy measurement, data processing and image acquisition, suitable for use in the environment of a fully computer-controlled microscope.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

FS - Lékařská zařízení, přístroje a vybavení

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20601 - Medical engineering<br>20602 - Medical laboratory technology (including laboratory samples analysis; diagnostic technologies) (Biomaterials to be 2.9 [physical characteristics of living material as related to medical implants, devices, sensors])

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Řešením projektu byla dopracována originální metoda elektronově mikroskopického zobrazování nevodivých vzorků, založená na kritické energii elektronů, do podoby aplikace u moderního rastrovacího elektronového mikroskopu plně řízeného počítačem.

Zahájení řešení

1. 1. 2000

Ukončení řešení

1. 1. 2002

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2003/AV0/AV03IB/U/N/2:1

Datum dodání záznamu

25. 6. 2003

Celkové uznané náklady

4 628 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 298 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

1 465 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

865 tis. Kč