Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Standardní projekty

Veřejná soutěž

Standardní projekty 15 (SGA02012GA-ST)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

P205-12-0908

Název projektu anglicky

Advanced experimental research of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films

Anotace anglicky

The project focuses on nanocrystalline diamond (NCD) growth by advanced linear antenna microwave plasma CVD process combined with plasma characterization and modelling. As the seeding layer, diamond nanoparticles or thin polymers will be employed. CVD growth parameters, i.e. pressure (0.06-5 mbar), gas composition (CH4/CO2/H2), microwave pulse (duty cycle/frequency) and substrate temperature, will be systematically varied to optimize the growth rate and NCD film quality (i.e. chemical purity, morphology, crystal size). In parallel to growth, pulsed surface microwave plasma in the linear antenna configuration will be characterized by time resolved electrostatic probe methods, optical emission measurements and measurements of total energy and ion fluxes.The novelty of project lies on computer modelling (Maxwell's equations coupled to plasma equations) of such microwave plasma system where process parameters and plasma characteristics are used as the input data. This fundamental research study will provide a complex view on NCD growth phenomena at low pressures over large areas.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Projekt přispěl k pokroku na poli růstu nanokrystalických vrstev NCD, k diagnostice a modelování relevantního plazmatu. Charakteristika výsledků je adekvátní. Součástí projektu byla výchova studenta a téma má perspektivní aplikace v technice a diagnosti?

Zahájení řešení

1. 1. 2012

Ukončení řešení

31. 12. 2014

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

2. 5. 2014

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP15-GA0-GA-U/01:1

Datum dodání záznamu

22. 5. 2015

Celkové uznané náklady

3 409 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

3 409 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč