Syntéza nových poruch v křemíku pomoci iontového ozářeni pro budoucí aplikace v polovodičové technologii.

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Postdoktorandské granty

Veřejná soutěž

Postdoktorandské granty 8 (SGA02008GA1PD)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

102/08/P488

Název projektu anglicky

Synthesis of novel defects in silicon by ion irradiation for future application in semiconductor technology.

Anotace anglicky

Project will bring detailed information about influence of intrinsic defects (atoms of O, C, N) on generation and thermal stability of defects resulting from irradiation of silicon by protons and alphas. The project extends the topic studied within the framework of The Center of basic research LC 06041 and it will use its background and infrastructure. The atoms of O, C, N will be introduced in FZ silicon by ion irradiation. Their subsequent interaction with radiation defects will be studied by electrical methods (DLTS, HVCTS, C-V, I-V) in wide temperature range (100-700 C). Simultaneously, the effect of hydrogen (introduced either by proton irradiation or hydrogenation) on defect stability and electrical activity will be studied. The emphasis will beput on identification of new defects and mechanism of their generation. Their influence on silicon parameters (generation/recombination, doping) will be established to enable their use in development of radiation-hard and fast power devices.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Mezi hlavní výsledky řešeni celého projektu patří: 1) Prokázána vetší generační rychlosti termodonorů v&nbsp;křemíkových substrátech se zvýšeným obsahem kyslíku. Důležitým výsledkem bylo prokázání možnosti lokalizace donorové vrstvy v&nbsp;oblasti dolet?

Zahájení řešení

1. 1. 2008

Ukončení řešení

31. 12. 2010

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

16. 4. 2010

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP11-GA0-GP-U/04:3

Datum dodání záznamu

20. 3. 2015

Celkové uznané náklady

1 460 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 460 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč