Vliv kombinace pulsní laserové depozice a r.f. výbojů na vlastnosti optických vrstev

Poskytovatel

Grantová agentura České republiky

Program

Postdoktorandské granty

Veřejná soutěž

Postdoktorandské granty 2 (SGA02002GA-PD)

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Study of combined PLD with r.f. discharges for improvement of optic layers properties

Anotace anglicky

The submitted project is concentrated on the systematic study of influence of combination of pulsed laser deposition (PLD) and radiofrequency (RF) discharges on the quality of thin optical layers. PLD and RF plasma (with capacitive and inductivecoupling), various electrodes configuration (planar, hollow cathode), and with changing gas and pressure compositions will be analyzed. Optical emission and absorption spectroscopy, CCD camera and Langmuir probes will be applied. Goal is to determine therelationamong PLD parameters, RF additional discharges and the properties of created thin optical layers. Attention will be paid to waveguiding layers like Ti :sapphire, YAG, YAP with various Nd, Er, Yb doping, to the ferroelectric PLZT and PZT layerswith various buffer layers (created on amorphous substrates), and to the diamond- like films prepared by PLD and additional discharges (RF and hollow cathode). Influence of PLD deposition parameters and RF discharges on the crystallinity, density,

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - další vedlejší obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Během řešení projektu byla pozornost zaměřena na přípravu tvrdých vrstev jako CNx, diamantové vrstvy a na tenké aktivní a pasivní planární vlnovody ZnO, Nd:KGW, vrstvy GGG dopované Pr3+ nebo Yb3+ technikou PLD. Byl studován vliv přídavného r.f. výboje n

Zahájení řešení

1. 1. 2001

Ukončení řešení

1. 1. 2004

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2005/GA0/GA05GP/U/N/A:8

Datum dodání záznamu

23. 7. 2008

Celkové uznané náklady

1 092 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

612 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

563 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč