Nové prvky pro separaci a detekci elektronů v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů
Cíle projektu
Cílem předkládaného projektu je studium elektronově optických vlastností Wienova filtru a jejich důsledky pro separaci signálních elektronů od primárního svazku v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Projekt zahrnuje studium detailního chování Wienova filtru jak teoreticky, tak experimentálně. Provedeme přesný výpočet elektronově optických vlastností a vad pro primární a signální svazek a budeme sledovat chování signálního svazku při průchodu elektrostatickou přenosovou soustavou zaWienovým filtrem a určíme vliv obou optických soustav na úhlové a energiové rozložení částic signálního svazku. Měření bude prováděno v ultravakuové aparatuře s projekční soustavou používající bodový zdroj elektronů.
Klíčová slova
Veřejná podpora
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
Program
Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Druh soutěže
—
Číslo smlouvy
—
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
New elements for the separation and detection of electrons in a very low energy SEM
Anotace anglicky
The aim of the submitted project is the study of the electron optical properties of detection system in a low energy scanning electron microscope consisting of a Wien filter and an electrostatic transport optics. The project involves both theoretical andexperimental investigation of the behaviour of the Wien filter. We will perform accurate computations of electron optical properties and aberrations for primary and signal beams, and we will study the behaviour of the signal beam on passing through an electrostatic transport optics in order to characterize their effect on angular and energy distribution of electrons in the signal beam. The measurement of the optical properties of the detector arrangement will be performed in an UHV system with a pointelectron projection.
Vědní obory
Kategorie VaV
—
CEP - hlavní obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byla provedena konstrukce a výroba dílů pro ultravakuovou aparaturu pro experimentální studium vlastností Wienova filtru. Bylyprovedeny teoretické výpočty chování filtru a odchylovače. Dosud se však nepodařilo získat experimentální výsledky.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 1998
Ukončení řešení
1. 1. 2000
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
—
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP/2001/AV0/AV01IA/U/N/4:2
Datum dodání záznamu
—
Finance
Celkové uznané náklady
1 425 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
526 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
1 425 tis. Kč
Statní podpora
526 tis. Kč
36%
Poskytovatel
Akademie věd České republiky
CEP
BH - Optika, masery a lasery
Doba řešení
01. 01. 1998 - 01. 01. 2000