Vlnově optické kontrasty v rastrovacím elektronovém mikroskopu

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Wave-optical contrasts in the scanning electron microscope

Anotace anglicky

The scanning electron microscope (SEM) is traditionally considered to be an incoherently imaging device producing topographical or material contrast in an image formed by pixels. The SEM with slow electrons equipped with the cathode lens, developed within the previous projects, enables one to use the electron energies in units or tens of eV, which corresponds to the appearance of the waveoptical contrasts in SEM. First of all, there is a question to utilize the individual diffracted beams of the LEED pattern to acquire information about the local crystallinic structure of the surface, and its development. Further wave-optical contrasts arise by the detection of the interference field of the waves reflected from terraces on both sides of surface atomicsteps or from both surfaces of thin surface layers. They can be used for observation of initial phases of the film growth, for examination of multilayers (particularly in bevelled sections) by using equal-thickness fringes, etc.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

CEP - další vedlejší obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Byla navržena a realizována metoda zobrazení vlnově optických kontrastů v rastrovacím elektron.mikroskopu s pomalými a velmi pomalými elektrony s vysokým prostor.rozlišením. Byl studován difrakční kontrast a materiálová hloubková tomografie.

Zahájení řešení

1. 1. 1999

Ukončení řešení

1. 1. 2002

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2003/AV0/AV03IA/U/N/5:3

Datum dodání záznamu

27. 10. 2004

Celkové uznané náklady

4 280 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 785 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

2 495 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč