Diagnostika pulzního plazmatu generovaného v systémech s plasmovými kanály určených pro technologické aplikace depozice tenkých vrstev.

Poskytovatel

Akademie věd České republiky

Program

Juniorské badatelské grantové projekty

Veřejná soutěž

Juniorské badatelské grantové projekty 6 (SAV02008-B)

Hlavní účastníci

—

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

KJB100100805

Název projektu anglicky

A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition.

Anotace anglicky

The proposed project sets a target to carry out a diagnostics of several discharges generated at just slightly reduced or even at atmospheric pressure. These plasmatic systems working with flowing channels - plasma jets were developed recently and succesfully tested in section of Optics of Institute of Physics ASCR. The plasma is generated by means of DC, RF (13.56 MHz) or microwave (2.45 GHz) discharge and/or combination of those. These systems were already applied for low-temperature deposition of , CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx thin films and further oxides at sample material surfaces, e.g. polymers. For broader application of those systems the systematic in-situ diagnostic of generated plasma seems to be necessary. The proposed project envisages development of time-resolved calorimetric and Langmuir probe, laser absorption and emission spectroscopy and development of basic model describing a energy transfer from plasma on a substrate.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

—

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Tryskové a magnetronové pulzní depoziční systémy byly charakterizovány pomocí několika diagnostických metod. Bylo ukázano, že pulzní modulace má významný vliv na vlastnosti připravovaných vrstev a navíc oba depoziční systémy vykazují rozdílné chování.

Zahájení řešení

1. 1. 2008

Ukončení řešení

31. 12. 2010

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

9. 3. 2010

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP11-AV0-KJ-U/02:2

Datum dodání záznamu

14. 6. 2011

Celkové uznané náklady

946 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

946 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč