Characterization of polymer thin ?lms deposited on aluminum ?lms by the combined optical method and atomic force microscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F06%3A%230000307" target="_blank" >RIV/00177016:_____/06:#0000307 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Characterization of polymer thin ?lms deposited on aluminum ?lms by the combined optical method and atomic force microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper, the results of the optical characterization of polymer thin ?lms, deposited by the plasma enhanced chemical vapor deposition on the aluminum ?lms performed by the multisample modi?cation of the optical method based on combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic re?ectometry, are presented. Within this characterization, the existence of roughness of the boundaries of the polymer ?lms is taken into account by means of the Rayleigh?Rice theory. Theoptical constants of these ?lms are described by the dispersion model based on parameterization of the density of electronic states. It is shown that the optical constants of the polymer ?lms depend on their thicknesses, i.e. on the deposition times. Morphology of the upper boundaries of the polymer ?lms is also studied using atomic force microscopy.

Název v anglickém jazyce

Characterization of polymer thin ?lms deposited on aluminum ?lms by the combined optical method and atomic force microscopy

Popis výsledku anglicky

In this paper, the results of the optical characterization of polymer thin ?lms, deposited by the plasma enhanced chemical vapor deposition on the aluminum ?lms performed by the multisample modi?cation of the optical method based on combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic re?ectometry, are presented. Within this characterization, the existence of roughness of the boundaries of the polymer ?lms is taken into account by means of the Rayleigh?Rice theory. Theoptical constants of these ?lms are described by the dispersion model based on parameterization of the density of electronic states. It is shown that the optical constants of the polymer ?lms depend on their thicknesses, i.e. on the deposition times. Morphology of the upper boundaries of the polymer ?lms is also studied using atomic force microscopy.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/FT-TA%2F094" target="_blank" >FT-TA/094: *Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

1096-9918

e-ISSN

—

Svazek periodika

38

Číslo periodika v rámci svazku

11

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—