Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F07%3A%230000392" target="_blank" >RIV/00177016:_____/07:#0000392 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/18/2/S28" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/18/2/S28</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0957-0233/18/2/S28" target="_blank" >10.1088/0957-0233/18/2/S28</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar thin films

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper, the columnar structure of TiO2 and HfO2 thin films prepared on silicon wafers is studied using two modifications of atomic force microscopy (AFM), i.e., by standard AFM and micro-hardness modification of AFM. These methods are applied to the cross-sections of the films created by fracturing samples consisting of substrates covered with the films under investigation. It is shown that the edge of the film in the cross-section does not cause an obstacle for scanning the AFM images corresponding to both the AFM modifications mentioned above. In this paper it is also shown that the micro-hardness contrast mode of AFM is the more useful technique for imaging the columnar structure of films than standard AFM when film cross-sections exhibit artificial defects originated as a consequence of fracturing the films.

Název v anglickém jazyce

Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar thin films

Popis výsledku anglicky

In this paper, the columnar structure of TiO2 and HfO2 thin films prepared on silicon wafers is studied using two modifications of atomic force microscopy (AFM), i.e., by standard AFM and micro-hardness modification of AFM. These methods are applied to the cross-sections of the films created by fracturing samples consisting of substrates covered with the films under investigation. It is shown that the edge of the film in the cross-section does not cause an obstacle for scanning the AFM images corresponding to both the AFM modifications mentioned above. In this paper it is also shown that the micro-hardness contrast mode of AFM is the more useful technique for imaging the columnar structure of films than standard AFM when film cross-sections exhibit artificial defects originated as a consequence of fracturing the films.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KAN311610701" target="_blank" >KAN311610701: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Measurement Science and Technology

ISSN

0957-0233

e-ISSN

—

Svazek periodika

18

Číslo periodika v rámci svazku

2

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

528-531

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—