Study of uncertainties of height measurements of monoatomic steps on Si 5 × 5 using DFT

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F17%3AN0000031" target="_blank" >RIV/00177016:_____/17:N0000031 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68378271:_____/17:00473812

Výsledek na webu

<a href="http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aa5075" target="_blank" >http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aa5075</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6501/aa5075" target="_blank" >10.1088/1361-6501/aa5075</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of uncertainties of height measurements of monoatomic steps on Si 5 × 5 using DFT

Popis výsledku v původním jazyce

Sources of uncertainty for height measurements using atomic force microscopy (AFM) in contact mode are discussed. Results of density functional theory (DFT) modeling of AFM scans on a monoatomic step on silicon 5x5 are presented. Van der Waals forces for the interaction of a spherical tip and an infinite step are calculated classically. Height measurements in constant force mode at different forces are simulated. The behavior of different tips is studied along with their impact on the resulting AFM scans.

Název v anglickém jazyce

Study of uncertainties of height measurements of monoatomic steps on Si 5 × 5 using DFT

Popis výsledku anglicky

Sources of uncertainty for height measurements using atomic force microscopy (AFM) in contact mode are discussed. Results of density functional theory (DFT) modeling of AFM scans on a monoatomic step on silicon 5x5 are presented. Van der Waals forces for the interaction of a spherical tip and an infinite step are calculated classically. Height measurements in constant force mode at different forces are simulated. The behavior of different tips is studied along with their impact on the resulting AFM scans.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)

Projekt

<a href="/cs/project/7AX13032" target="_blank" >7AX13032: Crystalline surfaces, self assembled structures, and nano-origami as length standards in (nano)metrology</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Measurement Science and Technology

ISSN

0957-0233

e-ISSN

1361-6501

Svazek periodika

28

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

nestrankovano

Kód UT WoS článku

000399553900001

EID výsledku v databázi Scopus

—