Bringing metrology to high-speed atomic force microscopy (HS-AFM)

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F17%3AN0000039" target="_blank" >RIV/00177016:_____/17:N0000039 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Bringing metrology to high-speed atomic force microscopy (HS-AFM)

Popis výsledku v původním jazyce

The high-speed AFM of NPL and University of Bristol has been turned into a traceable instrument. The scanning stages have been error mapped using both grating and optical interferometric techniques. Using high speed interferometry, errors in scanning stages have been mapped in real time and corrections applied to remove the effects of crosstalk and non ideal motion. The application of metrology increases the accuracy of the high-speed AFM measurements, enabling the generation of very large composite images.

Název v anglickém jazyce

Bringing metrology to high-speed atomic force microscopy (HS-AFM)

Popis výsledku anglicky

The high-speed AFM of NPL and University of Bristol has been turned into a traceable instrument. The scanning stages have been error mapped using both grating and optical interferometric techniques. Using high speed interferometry, errors in scanning stages have been mapped in real time and corrections applied to remove the effects of crosstalk and non ideal motion. The application of metrology increases the accuracy of the high-speed AFM measurements, enabling the generation of very large composite images.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

—

Návaznosti

V - Vyzkumna aktivita podporovana z jinych verejnych zdroju

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 17th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

ISBN

9780995775107

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

373-374

Název nakladatele

The European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

Místo vydání

—

Místo konání akce

Hannover, Germany

Datum konání akce

1. 1. 2017

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—