Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

XRD study of thickness dependence of crystallization and stresses in TiO2 thin films

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F09%3A00207040" target="_blank" >RIV/00216208:11320/09:00207040 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    XRD study of thickness dependence of crystallization and stresses in TiO2 thin films

  • Popis výsledku v původním jazyce

    In this work a complex X-ray diffraction (XRD) study of thin TiO2 films on Si substrates with different thicknesses (50-2000 nm) prepared by magnetron sputtering is presented. Crystallisation process of amorphous films was studied in-situ. XRD reflectivity, texture and stress measurements were performed ex-situ. Other amorphous and nanocrystalline powders were also measured for comparison.

  • Název v anglickém jazyce

    XRD study of thickness dependence of crystallization and stresses in TiO2 thin films

  • Popis výsledku anglicky

    In this work a complex X-ray diffraction (XRD) study of thin TiO2 films on Si substrates with different thicknesses (50-2000 nm) prepared by magnetron sputtering is presented. Crystallisation process of amorphous films was studied in-situ. XRD reflectivity, texture and stress measurements were performed ex-situ. Other amorphous and nanocrystalline powders were also measured for comparison.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2009

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Materials Structure in Chemistry. Biology. Physics and Technology

  • ISSN

    1211-5894

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    16

  • Číslo periodika v rámci svazku

    2a

  • Stát vydavatele periodika

    CZ - Česká republika

  • Počet stran výsledku

    2

  • Strana od-do

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus