X-ray diffraction investigations of TiO 2 thin films and their thermal stability

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F12%3A10129466" target="_blank" >RIV/00216208:11320/12:10129466 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://journals.cambridge.org/action/displayAbstract?fromPage=online&aid=8331579" target="_blank" >http://journals.cambridge.org/action/displayAbstract?fromPage=online&aid=8331579</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1557/opl.2011.1133" target="_blank" >10.1557/opl.2011.1133</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

X-ray diffraction investigations of TiO 2 thin films and their thermal stability

Popis výsledku v původním jazyce

In-situ laboratory measurements in X-ray diffraction (XRD) high-temperature chamber and detailed XRD measurements at room temperature were used for the study of the thickness, temperature and time dependences of crystallization of amorphous TiO 2 thin films. The films deposited by magnetron sputtering, plasma jet sputtering and sol-gel method were analyzed. Tensile stresses were detected in the first two cases. They are generated during the crystallization and inhibit further crystallization that also depends on the film thickness. XRD indicated quite rapid growth of larger crystallites unlike the sol-gel films when the crystallites grow mainly by increasing of annealing temperature.

Název v anglickém jazyce

X-ray diffraction investigations of TiO 2 thin films and their thermal stability

Popis výsledku anglicky

In-situ laboratory measurements in X-ray diffraction (XRD) high-temperature chamber and detailed XRD measurements at room temperature were used for the study of the thickness, temperature and time dependences of crystallization of amorphous TiO 2 thin films. The films deposited by magnetron sputtering, plasma jet sputtering and sol-gel method were analyzed. Tensile stresses were detected in the first two cases. They are generated during the crystallization and inhibit further crystallization that also depends on the film thickness. XRD indicated quite rapid growth of larger crystallites unlike the sol-gel films when the crystallites grow mainly by increasing of annealing temperature.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN

0272-9172

e-ISSN

—

Svazek periodika

1352

Číslo periodika v rámci svazku

Listopad

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

57-62

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—