Ion beam mixing in uranium nitride thin films studied by Rutherford Backscattering Spectroscopy
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F10%3A10057484" target="_blank" >RIV/00216208:11320/10:10057484 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Ion beam mixing in uranium nitride thin films studied by Rutherford Backscattering Spectroscopy
Popis výsledku v původním jazyce
Thickness, composition, concentration depth profile and ion irradiation effects on uranium nitride thin films deposited on fused silica have been investigated by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) using 2 MeV He+ ions. The films were prepared by reactive DC sputtering at the temperatures of -200 C, +25 C and +300 C. A perfect 1U:1N stoichiometry with a layer thickness of 660 nm was found for the film deposited at -200 C. An increase of the deposition temperature led to an enhancement of surface oxidation and an increase of the thickness of the mixed U-N-Si-O layers at the interface.
Název v anglickém jazyce
Ion beam mixing in uranium nitride thin films studied by Rutherford Backscattering Spectroscopy
Popis výsledku anglicky
Thickness, composition, concentration depth profile and ion irradiation effects on uranium nitride thin films deposited on fused silica have been investigated by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS) using 2 MeV He+ ions. The films were prepared by reactive DC sputtering at the temperatures of -200 C, +25 C and +300 C. A perfect 1U:1N stoichiometry with a layer thickness of 660 nm was found for the film deposited at -200 C. An increase of the deposition temperature led to an enhancement of surface oxidation and an increase of the thickness of the mixed U-N-Si-O layers at the interface.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/IAA100100912" target="_blank" >IAA100100912: Magnetická anizotropie nanorozhraní</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
ISSN
0168-583X
e-ISSN
—
Svazek periodika
268
Číslo periodika v rámci svazku
11-12
Stát vydavatele periodika
NL - Nizozemsko
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000278702300040
EID výsledku v databázi Scopus
—