METODY POVRCHOVÉ A TENKOVRSTVOVÉ ANALÝZY PRVKOVÉHO SLOŽENÍ (XPS, AES, SIMS), DIFRAKCE FOTOELEKTRONŮ
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F11%3A10108877" target="_blank" >RIV/00216208:11320/11:10108877 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
METODY POVRCHOVÉ A TENKOVRSTVOVÉ ANALÝZY PRVKOVÉHO SLOŽENÍ (XPS, AES, SIMS), DIFRAKCE FOTOELEKTRONŮ
Popis výsledku v původním jazyce
Analýza chemického složení patří k základním úkolům materiálové analýzy v mnoha oblastech špičkových technologií. Chemické složení materiálů může být studováno celou řadou metod, z nichž k nejvýznamnějším a nejpoužívanějším patří elektronové spektroskopie a to zejména rentgenová fotoelektronová spektroskopie (XPS - X-ray Photoelectron Spectroscopy) a Augerova elektronová spektroskopie (AES - Auger Electron Spectroscopy). Obě metody jsou v dnešní době běžnou součástí výzkumných i aplikovaných laboratořípřípadně slouží jako diagnostické metody ve výrobních procesech.
Název v anglickém jazyce
Methods of surface and thin film analysis of chemical composition, photoelectron diffraction
Popis výsledku anglicky
The goal of this article is to provide basic in formation on the physical principles and applications of the methods mentioned below. Chemical composition belongs to the basic characterization of materials used in many technological applications. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Auger electron spectroscopy (AES) are widely used for the investigation of chemical composition as well as of chemical state of solid surfaces. X-ray photoelectron diffraction (XPD) is a technique providing informationon the detail crystallographic structure of single-crystal surfaces and epitaxial thin films and bonding geometry of ordered adsorbates. Secondary ion mass spectroscopy (SIMS) is more sensitive for measurement of low concentration species comparing to the electron spectroscopy techniques and, in addition, it permits elemental and compositional depth profiling.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Materials Structure in Chemistry, Biology Physics and Technology (Bulletin of the Czech and Slovak Crystallographic Association.)
ISSN
1211-5894
e-ISSN
—
Svazek periodika
18
Číslo periodika v rámci svazku
4
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
251-257
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—