Metody povrchové a tenkovrstvové analýzy prvkového složení (XPS, AES, SIMS), dirfrakce elektronů.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F11%3APU97268" target="_blank" >RIV/00216305:26620/11:PU97268 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Metody povrchové a tenkovrstvové analýzy prvkového složení (XPS, AES, SIMS), dirfrakce elektronů.

Popis výsledku v původním jazyce

The goal of this article is to provide basic information on the physical principles and applications of the following mentioned methods. Chemical composition belongs to the basic characterization of materials used in many technological applications. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Auger electron spectroscopy (AES) are widely used for the investigation of chemical composition as well as of chemical state of solid surfaces. X-ray photoelectron diffraction (XPD) is a technique providing information on the detail crystallographic structure of single-crystal surfaces and epitaxial thin films of geometry of bonding ordered adsorbates. Secondary ion mass spectroscopy (SIMS) is more sensitive for measurement of low concentration species comparing tothe electron spectroscopy techniques and, in addition, it permits elemental and compositional depth profiling.

Název v anglickém jazyce

Methods of surface and thin film analysisof chemical composition, photoelectron diffraction

Popis výsledku anglicky

The goal of this article is to provide basic information on the physical principles and applications of the following mentioned methods. Chemical composition belongs to the basic characterization of materials used in many technological applications. X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Auger electron spectroscopy (AES) are widely used for the investigation of chemical composition as well as of chemical state of solid surfaces. X-ray photoelectron diffraction (XPD) is a technique providing information on the detail crystallographic structure of single-crystal surfaces and epitaxial thin films of geometry of bonding ordered adsorbates. Secondary ion mass spectroscopy (SIMS) is more sensitive for measurement of low concentration species comparing tothe electron spectroscopy techniques and, in addition, it permits elemental and compositional depth profiling.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/LC06040" target="_blank" >LC06040: Struktury pro nanofotoniku a nanoelektroniku</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Materials Structure

ISSN

1211-5894

e-ISSN

—

Svazek periodika

2011

Číslo periodika v rámci svazku

18

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

251-257

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—