Preparation of metal oxide nanoparticles by gas aggregation cluster source
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F15%3A10313689" target="_blank" >RIV/00216208:11320/15:10313689 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.07.008" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.07.008</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2015.07.008" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2015.07.008</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Preparation of metal oxide nanoparticles by gas aggregation cluster source
Popis výsledku v původním jazyce
Al/AlxOy and Ti/TiOx nanoparticles have been fabricated using gas aggregation cluster source (GAS) equipped with 3-inch planar magnetrons. The main attention has been devoted to the evaluation of the role of oxygen admixture on the deposition rate and properties of formed nanoparticles. It has been found that oxidized nanoparticles are deposited when oxygen is present in the working gas mixture. Highest deposition rates for production of Al/AlxOy or Ti/TiOx nanoparticles were observed when 3% or 1.5% oxygen was present in the working gas mixture, respectively. Mean diameters of about 16 nm for the AlxOy nanoparticles and 30 nm for TiOx have been found under these deposition conditions.
Název v anglickém jazyce
Preparation of metal oxide nanoparticles by gas aggregation cluster source
Popis výsledku anglicky
Al/AlxOy and Ti/TiOx nanoparticles have been fabricated using gas aggregation cluster source (GAS) equipped with 3-inch planar magnetrons. The main attention has been devoted to the evaluation of the role of oxygen admixture on the deposition rate and properties of formed nanoparticles. It has been found that oxidized nanoparticles are deposited when oxygen is present in the working gas mixture. Highest deposition rates for production of Al/AlxOy or Ti/TiOx nanoparticles were observed when 3% or 1.5% oxygen was present in the working gas mixture, respectively. Mean diameters of about 16 nm for the AlxOy nanoparticles and 30 nm for TiOx have been found under these deposition conditions.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA13-09853S" target="_blank" >GA13-09853S: Aplikace nízkoteplotního plazmatu v klastrovém zdroji s agregací v plynu pro nanášení nanočástic, nanostrukturovaných a nanokompozitních vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
—
Svazek periodika
120
Číslo periodika v rámci svazku
Neuveden
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
162-169
Kód UT WoS článku
000361405000028
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-84937792184