Material properties of lithium fluoride for predicting XUV laser ablation rate and threshold fluence

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F15%3A10319540" target="_blank" >RIV/00216208:11320/15:10319540 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61989100:27200/15:86095690 RIV/61989100:27230/15:86095690 RIV/61989100:27650/15:86095690 RIV/61989100:27740/15:86095690 a 2 dalších

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2178437" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2178437</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2178437" target="_blank" >10.1117/12.2178437</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Material properties of lithium fluoride for predicting XUV laser ablation rate and threshold fluence

Popis výsledku v původním jazyce

This paper deals with prediction of extreme ultraviolet (XUV) laser ablation of lithium fluoride at nanosecond timescales. Material properties of lithium fluoride were determined based on bibliographic survey. These data are necessary for theoretical estimation of surface removal rate in relevance to XUV laser desorption/ablation process. Parameters of XUV radiation pulses generated by the Prague capillary-discharge laser (CDL) desktop system were assumed in this context. Prediction of ablation curve and threshold laser fluence for lithium fluoride was performed employing XUV-ABLATOR code. Quasi-random sampling approach was used for evaluating its predictive capabilities in the means of variance and stability of model outputs in expected range of uncertainties. These results were compared to experimental data observed previously.

Název v anglickém jazyce

Material properties of lithium fluoride for predicting XUV laser ablation rate and threshold fluence

Popis výsledku anglicky

This paper deals with prediction of extreme ultraviolet (XUV) laser ablation of lithium fluoride at nanosecond timescales. Material properties of lithium fluoride were determined based on bibliographic survey. These data are necessary for theoretical estimation of surface removal rate in relevance to XUV laser desorption/ablation process. Parameters of XUV radiation pulses generated by the Prague capillary-discharge laser (CDL) desktop system were assumed in this context. Prediction of ablation curve and threshold laser fluence for lithium fluoride was performed employing XUV-ABLATOR code. Quasi-random sampling approach was used for evaluating its predictive capabilities in the means of variance and stability of model outputs in expected range of uncertainties. These results were compared to experimental data observed previously.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GAP108%2F11%2F1312" target="_blank" >GAP108/11/1312: Vytváření speciálních tenkých vrstev UV-Vis-NIR transparentních dielektric pomocí ablace repetičním kapilárním XUV laserem</a><br>

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

DAMAGE TO VUV, EUV, AND X-RAY OPTICS V

ISBN

978-1-62841-632-9

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

—

Název nakladatele

SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING

Místo vydání

BELLINGHAM

Místo konání akce

Prague, Czech Republic

Datum konání akce

15. 4. 2015

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000356917700005