Atomic force microscopy measurements of surface roughness quantities important in optics of surfaces and thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F00%3A00002241" target="_blank" >RIV/00216224:14310/00:00002241 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Atomic force microscopy measurements of surface roughness quantities important in optics of surfaces and thin films

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper AFM measurements of the statistical quantities of randomly rough surfaces important in optics are presented. The procedures enabling us to determine the values of the RMS value of the heights, RMS value of the slopes, autocorrelation function of the heights, power spectral density function, one-dimensional distribution of the probability density of the heights and one-dimensional distribution of the probability density of the slopes of the irregularities of roughness of these surfaces onbasis of the AFM data are described. An illustration of these procedures is performed using the results achieved for randomly rough surfaces of silicon. A comparison of these AFM results with those obtained for the same samples by the optical method i s also introduced in this paper.

Název v anglickém jazyce

Atomic force microscopy measurements of surface roughness quantities important in optics of surfaces and thin films

Popis výsledku anglicky

In this paper AFM measurements of the statistical quantities of randomly rough surfaces important in optics are presented. The procedures enabling us to determine the values of the RMS value of the heights, RMS value of the slopes, autocorrelation function of the heights, power spectral density function, one-dimensional distribution of the probability density of the heights and one-dimensional distribution of the probability density of the slopes of the irregularities of roughness of these surfaces onbasis of the AFM data are described. An illustration of these procedures is performed using the results achieved for randomly rough surfaces of silicon. A comparison of these AFM results with those obtained for the same samples by the optical method i s also introduced in this paper.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2000

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy

ISBN

3-89701-503-X

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

—

Název nakladatele

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Místo vydání

Braunschweig

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—