Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F01%3A00004318" target="_blank" >RIV/00216224:14310/01:00004318 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Měření základních statistických veličin náhodné povrchové drsnosti pomocí mikroskopie atomové síly

Popis výsledku v původním jazyce

V tomto článku je podán přehled statistických veličin charakterizujících náhodně drsné povrchy, které jsou významné z hlediska praxe. Dále jsou popsány způsoby měření těchto veličin pomocí mikroskopie atomové síly. Tyto způsoby jsou ilustrovány prostřednictvím výsledků dosažených na náhodně drsných površích monokrystalu křemíku. Je také provedena diskuse chyb, které mohou ovlivnit hodnoty statistických veličin určených pomocí mikroskopie atomové síly. Výsledky dosažené u náhodně drsných povrchů křemíkuužitím této techniky jsou srovnány s výsledky dosaženými pomocí optické metody.

Název v anglickém jazyce

Measurement of Basic Statistical Quantities of Statistical Roughness by Atomic Force Microscopy

Popis výsledku anglicky

In this paper a rewiev of the statistical quantities of randomly rough surfaces important from the practical point of view is presented. Further, procedures of measuring these quantities using atomic force microscopy (AFM) are described. The procedures are illustrated by means of the results achieved for randomly rough surfaces of silicon single crystal. A discussion of the errors having an influence on the values of the statistical quantities measured using AFM is presented as well. The results obtained for the rough silicon single crystal surfaces using AFM are compared with those achieved for these surfaces by optical methods.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F98%2F0988" target="_blank" >GA202/98/0988: Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Československý časopis pro fyziku

ISSN

0009-0700

e-ISSN

—

Svazek periodika

51

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

16

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—