Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Plasma enhanced chemical vapor deposition of silicon incorporated diamond-like carbon films

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F00%3A00003103" target="_blank" >RIV/00216224:14310/00:00003103 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Plasma enhanced chemical vapor deposition of silicon incorporated diamond-like carbon films

  • Popis výsledku v původním jazyce

    Deposition of diamond like films with an incorporation of silicon by plasma enhanced CVD technique from mixture of methane, argon and hexamethyldisiloxane (HMDSO). Study of the influence of the percentage of HMDSO in the mixture on film properties.

  • Název v anglickém jazyce

    Plasma enhanced chemical vapor deposition of silicon incorporated diamond-like carbon films

  • Popis výsledku anglicky

    Deposition of diamond like films with an incorporation of silicon by plasma enhanced CVD technique from mixture of methane, argon and hexamethyldisiloxane (HMDSO). Study of the influence of the percentage of HMDSO in the mixture on film properties.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/VS96084" target="_blank" >VS96084: Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2000

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    Abstracts of Invited Lecturers and Contributed Papers ,XVth Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases

  • ISBN

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    2

  • Strana od-do

    408

  • Název nakladatele

    European Physical Society

  • Místo vydání

    Miskolc - Lillafüred, Hungary

  • Místo konání akce

    Miskolc - Lillafüred, Hungary

  • Datum konání akce

    1. 1. 2000

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku