Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F99%3A00004161" target="_blank" >RIV/00216224:14310/99:00004161 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku
Popis výsledku v původním jazyce
Z plazmatu kapacitně vázaného vf. výboje jsme deponovali tenké vrstvy na bázi uhlíku. Srovnávali jsme optické vlastnosti vrstev deponovaných ze směsi metanu a argonu s vrstvami deponovanými ze směsi HMDSO + metan a HMDSO + metan + Ar.
Název v anglickém jazyce
PECVD of protection coatings containing carbon
Popis výsledku anglicky
Carbon films were deposited in capacitively coupled rf glow discharge from several different mixtures on silicon substrates. We compared optical properties in UV-VIS range of diamond like films deposited from mixture of methane and argon with these for carbon films deposited from HMDSO/methane and HMDSO/methane/Ar feeds.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
1999
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Materiálové vědy na prahu 3. milénia
ISBN
80-214-1376-X
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
314
Název nakladatele
Vysoké učení technické v Brně, FSE, UMI
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
1. 1. 1999
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—