Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F03%3A07033043" target="_blank" >RIV/68081723:_____/03:07033043 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films.
Popis výsledku v původním jazyce
Hard diamond like carbon films with incorporation of SiOx were deposited from mixture of methane and HMDSO. The hardness, elastic modulus, interfacial fracture toughness and their dependence on the HMDSO to methane ratio were studied. The correlation between the discharge parameters and the film properties was determined.
Název v anglickém jazyce
Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films.
Popis výsledku anglicky
Hard diamond like carbon films with incorporation of SiOx were deposited from mixture of methane and HMDSO. The hardness, elastic modulus, interfacial fracture toughness and their dependence on the HMDSO to methane ratio were studied. The correlation between the discharge parameters and the film properties was determined.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of SAPP XIV, supplement.
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
50
Název nakladatele
Military Academy
Místo vydání
Low Tatras
Místo konání akce
Low Tatras [SK]
Datum konání akce
13. 1. 2003
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—