Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F01%3A00004374" target="_blank" >RIV/00216224:14310/01:00004374 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081731:_____/01:12010040 RIV/00216305:26210/01:PU21428

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper results concerning the complete optical analysis of inhomogeneous ZrO2-films are introduced. The optical analysis of these films is carried out using the combined optical method based on interpreting experimental data corresponding to variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). The model of the ZrO$_2$-films used for the interpretation of the experimental data achieved using the combined method exhibits the continuous refractive index profile. It is shown that this model is satisfactory for treating the experimental data. Further, it is shown that all the parameters characterizing the model mentioned can be determined with a hight accuracy. By means of atomicforce microscopy (AFM) it is found that the upper boundaries of the inhomogeneous ZrO2-films are slightly rough. The values of the basic statistical quantities characterizing this boundary roughness are evaluated using the treatment of AF

Název v anglickém jazyce

Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy

Popis výsledku anglicky

In this paper results concerning the complete optical analysis of inhomogeneous ZrO2-films are introduced. The optical analysis of these films is carried out using the combined optical method based on interpreting experimental data corresponding to variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). The model of the ZrO$_2$-films used for the interpretation of the experimental data achieved using the combined method exhibits the continuous refractive index profile. It is shown that this model is satisfactory for treating the experimental data. Further, it is shown that all the parameters characterizing the model mentioned can be determined with a hight accuracy. By means of atomicforce microscopy (AFM) it is found that the upper boundaries of the inhomogeneous ZrO2-films are slightly rough. The values of the basic statistical quantities characterizing this boundary roughness are evaluated using the treatment of AF

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

32

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

91

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—