Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F00%3A00002371" target="_blank" >RIV/00216224:14310/00:00002371 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper results concerning the optical characterization of the inhomogeneous thin films of ZrO2 are presented. The optical characterization of these films is performed using the simultaneous interpretation of experimental data corresponding to variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). It is shown that the ZrO2-films exhibit a depth inhomogeneity concerning their refractive indices. Further, it is shown that the ZrO2-films studied can be replaced by the four-layer system from the point of view of satisfactory fits of the experimental data. The values of the thicknesses and spectral dependences of the refractive indices of these four films are determined. Moreover, itis proved that the individual methods, i.e. VASE and especially NNSR, can not be separately used to characterize the ZrO2-films investigated.

Název v anglickém jazyce

Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry

Popis výsledku anglicky

In this paper results concerning the optical characterization of the inhomogeneous thin films of ZrO2 are presented. The optical characterization of these films is performed using the simultaneous interpretation of experimental data corresponding to variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) and near-normal incidence spectroscopic reflectometry (NNSR). It is shown that the ZrO2-films exhibit a depth inhomogeneity concerning their refractive indices. Further, it is shown that the ZrO2-films studied can be replaced by the four-layer system from the point of view of satisfactory fits of the experimental data. The values of the thicknesses and spectral dependences of the refractive indices of these four films are determined. Moreover, itis proved that the individual methods, i.e. VASE and especially NNSR, can not be separately used to characterize the ZrO2-films investigated.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2000

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

30

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—