Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F01%3A00004507" target="_blank" >RIV/00216224:14310/01:00004507 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
Popis výsledku v původním jazyce
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Název v anglickém jazyce
Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
Popis výsledku anglicky
Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
JUNIORMAT 01
ISBN
80-214-1885-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
144
Název nakladatele
ÚMI VUT FSI v Brně ve spolupráci s Českou společností pro nové materiály a technologie
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
19. - 20. 9. 2001, FSI VUT v Brně
Datum konání akce
1. 1. 2001
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—