Study of Thin Film Defects by Atomic Force Microscopy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F01%3A00008554" target="_blank" >RIV/00216224:14310/01:00008554 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of Thin Film Defects by Atomic Force Microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

In the contribution results concerning the study of some defects of thin films will be presented. It is shown that surface defects of the upper boundaries of the films such as microroughness, microobjects and facates can be studied quantitatively. Concrete results are presented for the upper boundaries of the films formed by the following materials: HfO2, ZnSe and ZnTe. As for microroughness the values of the basic statistical quantities, i.e. the rms values of the hights, the values of the autocorrelation length and the values of the power spectral density function are presented for the film mentioned. Further, the misrepresentation concernings the results of the AFM measurements of the upper boundaries of the columnar thin films is briefly discussed.

Název v anglickém jazyce

Study of Thin Film Defects by Atomic Force Microscopy

Popis výsledku anglicky

In the contribution results concerning the study of some defects of thin films will be presented. It is shown that surface defects of the upper boundaries of the films such as microroughness, microobjects and facates can be studied quantitatively. Concrete results are presented for the upper boundaries of the films formed by the following materials: HfO2, ZnSe and ZnTe. As for microroughness the values of the basic statistical quantities, i.e. the rms values of the hights, the values of the autocorrelation length and the values of the power spectral density function are presented for the film mentioned. Further, the misrepresentation concernings the results of the AFM measurements of the upper boundaries of the columnar thin films is briefly discussed.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy and 1st Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods

ISBN

3-89701-840-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

107-117

Název nakladatele

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Místo vydání

Braunschweig

Místo konání akce

November 15-16, 2001, Bergisch Gladbach - German

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—