In situ analýza tenkých vrstev PMPSi metodou spektroskopické elipsometrie

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010983" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010983 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216305:26210/04:PU47902
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Popis výsledku v původním jazyce
In the paper in situ monitoring of the UV-light-and thermal treatment of PMPSi thin films by real time spectroscopic ellipsometry and additional ex situ measurements are reported. In the in situ experiments the films were treated both under ultrahigh vacuum and oxygen atmosphere. The results of this study indicate systematic shift of the imaginary part of a complex dielectric function depending on the degree of treatment.
Název v anglickém jazyce
In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Popis výsledku anglicky
In the paper in situ monitoring of the UV-light-and thermal treatment of PMPSi thin films by real time spectroscopic ellipsometry and additional ex situ measurements are reported. In the in situ experiments the films were treated both under ultrahigh vacuum and oxygen atmosphere. The results of this study indicate systematic shift of the imaginary part of a complex dielectric function depending on the degree of treatment.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/PG98377" target="_blank" >PG98377: Iontově svazkové technologie a analýza povrchů a tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)