Analýza PMPSi metodou spektroskopické elipsometrie a XPS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010399" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010399 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216305:26210/04:PU47898
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS
Popis výsledku v původním jazyce
In-situ monitoring of the UV-light and thermal treatment of PMPSi thin films by real-time spectroscopic ellipsometry and XPS is reported. The films were treated both under ultrahigh vacuum and oxygen atmosphere. The results of this study indicate that the Si-Si bonds in the polymer main chain were primarily broken at the UV-light treatment. However, the Si radicals recombined into the polymer-like chains causing no remarkable chemical shift. The UV-light treatment under enhanced sample temperature (~80C) in oxygen atmosphere resulted in the more intense degradation of the PMPSi film. This can be related to cutting off the volatile methyl groups from the polymer main chains.
Název v anglickém jazyce
In situ analysis of PMPSi by spectroscopic ellipsometry and XPS
Popis výsledku anglicky
In-situ monitoring of the UV-light and thermal treatment of PMPSi thin films by real-time spectroscopic ellipsometry and XPS is reported. The films were treated both under ultrahigh vacuum and oxygen atmosphere. The results of this study indicate that the Si-Si bonds in the polymer main chain were primarily broken at the UV-light treatment. However, the Si radicals recombined into the polymer-like chains causing no remarkable chemical shift. The UV-light treatment under enhanced sample temperature (~80C) in oxygen atmosphere resulted in the more intense degradation of the PMPSi film. This can be related to cutting off the volatile methyl groups from the polymer main chains.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/PG98377" target="_blank" >PG98377: Iontově svazkové technologie a analýza povrchů a tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Interface Analysis
ISSN
0142-2421
e-ISSN
—
Svazek periodika
2004
Číslo periodika v rámci svazku
36
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
1218-1221
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—