Rastrovací termální mikroskopie - teorie a aplikace

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00013549" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00013549 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081723:_____/05:00024665 RIV/48399108:_____/05:#0000007

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Scanning thermal microscopy - theory and applications

Popis výsledku v původním jazyce

In this article the theoretical background and some results of the scanning thermal microscopy analysis of artifical structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that at the absence of surface roughness the SThM can be used to obtain reliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way. It is illustrated that this effect can be partially removed by using neural network approach for modelling the thermal signal using the topography data. The illustration of this approach is presented in the analysis of geometry of the examples selected in this article.

Název v anglickém jazyce

Scanning thermal microscopy - theory and applications

Popis výsledku anglicky

In this article the theoretical background and some results of the scanning thermal microscopy analysis of artifical structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that at the absence of surface roughness the SThM can be used to obtain reliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way. It is illustrated that this effect can be partially removed by using neural network approach for modelling the thermal signal using the topography data. The illustration of this approach is presented in the analysis of geometry of the examples selected in this article.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/FT-TA%2F094" target="_blank" >FT-TA/094: *Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek.</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Svazek periodika

50

Číslo periodika v rámci svazku

11-12

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

327-329

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—