Použití rastrovací termální mikroskopie při analýzách geometrie struktury mikročipu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081723%3A_____%2F06%3A00044322" target="_blank" >RIV/68081723:_____/06:00044322 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00177016:_____/06:#0000306

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Applications of scanning thermal microscopy in the analysis of the geometry of patterned structures

Popis výsledku v původním jazyce

In this article, the results of the scanning thermal microscopy (SThM) analysis of artificial structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that in the absence of surface roughness the SThM can be used to obtainreliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way.

Název v anglickém jazyce

Applications of scanning thermal microscopy in the analysis of the geometry of patterned structures

Popis výsledku anglicky

In this article, the results of the scanning thermal microscopy (SThM) analysis of artificial structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that in the absence of surface roughness the SThM can be used to obtainreliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/FT-TA%2F094" target="_blank" >FT-TA/094: *Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek.</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

38

Číslo periodika v rámci svazku

4

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

383-387

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—