Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00025502" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00025502 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation

Popis výsledku v původním jazyce

In this contribution we present a study of the role of secondary electrons in low pressure RF discharge via computer simulation. We have used particle simulation Particle In Cell Monte Carlo (PIC-MC) method. We have shown that the secondary electron emission coefficient (SEC) of electrodes affects plasma density. The change of the SEC from 0.1 to 0.2 induces an increase of plasma density up to 30%. We determined that about 30 % of all electrons in plasma are secondary electrons and electrons created inionization collisions of secondary electrons. More than half of all ions in plasma are ions, created in ionization collisions of secondary electrons. We have calculated many further characteristics of secondary particles.

Název v anglickém jazyce

The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation

Popis výsledku anglicky

In this contribution we present a study of the role of secondary electrons in low pressure RF discharge via computer simulation. We have used particle simulation Particle In Cell Monte Carlo (PIC-MC) method. We have shown that the secondary electron emission coefficient (SEC) of electrodes affects plasma density. The change of the SEC from 0.1 to 0.2 induces an increase of plasma density up to 30%. We determined that about 30 % of all electrons in plasma are secondary electrons and electrons created inionization collisions of secondary electrons. More than half of all ions in plasma are ions, created in ionization collisions of secondary electrons. We have calculated many further characteristics of secondary particles.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

SAPP XV

ISBN

80-223-2018-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Karol Hensel

Místo vydání

Podbanske, Slovakia

Místo konání akce

Podbanske

Datum konání akce

1. 1. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—