Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00015920" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00015920 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081723:_____/06:00043751

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique

Popis výsledku v původním jazyce

This work concerns the characterisation of mechanical properties of thin amorphous and microcrystalline silicon films deposited on glass and polyethylene terephthalate substrates. The film/substrate indentation response has been investigated from the near surface up to film/substrate interface using depth sensing indentation technique. The universal hardness, Vickers hardness, elastic modulus, fracture toughness and creep resistance of the studied films have been determined. Particular attention has been paid to the effects of the flexible viscoelastic-plastic substrate on the indentation response of the film/substrate system. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

Název v anglickém jazyce

Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique

Popis výsledku anglicky

This work concerns the characterisation of mechanical properties of thin amorphous and microcrystalline silicon films deposited on glass and polyethylene terephthalate substrates. The film/substrate indentation response has been investigated from the near surface up to film/substrate interface using depth sensing indentation technique. The universal hardness, Vickers hardness, elastic modulus, fracture toughness and creep resistance of the studied films have been determined. Particular attention has been paid to the effects of the flexible viscoelastic-plastic substrate on the indentation response of the film/substrate system. (c) 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN

0022-3093

e-ISSN

—

Svazek periodika

352

Číslo periodika v rámci svazku

9-20

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

1242-1245

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—