Depozice a analýza tenkých vrstev vytořených v atmosférickém doutnavém výboji

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F07%3A00020440" target="_blank" >RIV/00216224:14310/07:00020440 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge

Popis výsledku v původním jazyce

The atmospheric pressure glow discharge was used for the deposition of thin organosilicon polymer films. The plasma was burning in pure nitrogen used as a carrier gas and a small admixture of organosilicons compounds such as hexamethyldisilazane (HMDSN)or hexamethyldisiloxane (HMDSO) was used as a monomer. The temperature of the substrate was elevated up to 120 C to obtain harder thin films. The homogeneity of thin films was enhanced using movable upper electrode. Electrical measurements were used to distinguish between glow and filamentary regime. Mechanical properties of deposited films were characterised by depth sensing indentation technique. The films were polymer-like, transparent in visible range, with uniform thickness and without pinholes.

Název v anglickém jazyce

Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge

Popis výsledku anglicky

The atmospheric pressure glow discharge was used for the deposition of thin organosilicon polymer films. The plasma was burning in pure nitrogen used as a carrier gas and a small admixture of organosilicons compounds such as hexamethyldisilazane (HMDSN)or hexamethyldisiloxane (HMDSO) was used as a monomer. The temperature of the substrate was elevated up to 120 C to obtain harder thin films. The homogeneity of thin films was enhanced using movable upper electrode. Electrical measurements were used to distinguish between glow and filamentary regime. Mechanical properties of deposited films were characterised by depth sensing indentation technique. The films were polymer-like, transparent in visible range, with uniform thickness and without pinholes.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F06%2F1473" target="_blank" >GA202/06/1473: Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases

ISBN

978-80-87026-01-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

713-716

Název nakladatele

J.Schmidt, M. Šimek, S.Pekárek, V.Prukner

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

1. 1. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—