Depozice tenkých organosilikonových polymerních vrstev v doutnavém výboji za atmosférického tlaku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00019785" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00019785 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

Popis výsledku v původním jazyce

The atmospheric pressure glow discharge burning in nitrogen with small admixture of organosilicon compounds such as hexamethyldisilazane or hexamethyldisiloxane was used for the deposition of thin organosilicon polymer films. The properties of the discharge were studied by means of optical emission spectroscopy and electrical measurements. The deposited films were characterized by atomic force microscopy, x-ray photoelectron spectroscopy, infrared transmission measurements, ellipsometry, depth sensing indentation technique and contact angle measurements. The films were polymer-like, transparent in the visible range, with uniform thickness and without pinholes. The film hardness varied from 0.3 to 0.6 GPa depending on deposition conditions, the elasticmodulus was in the range 15-28 GPa and the surface free energy was in the range 26-45 mJ m-2. The studied films exhibited good adhesion to the substrate.

Název v anglickém jazyce

Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

Popis výsledku anglicky

The atmospheric pressure glow discharge burning in nitrogen with small admixture of organosilicon compounds such as hexamethyldisilazane or hexamethyldisiloxane was used for the deposition of thin organosilicon polymer films. The properties of the discharge were studied by means of optical emission spectroscopy and electrical measurements. The deposited films were characterized by atomic force microscopy, x-ray photoelectron spectroscopy, infrared transmission measurements, ellipsometry, depth sensing indentation technique and contact angle measurements. The films were polymer-like, transparent in the visible range, with uniform thickness and without pinholes. The film hardness varied from 0.3 to 0.6 GPa depending on deposition conditions, the elasticmodulus was in the range 15-28 GPa and the surface free energy was in the range 26-45 mJ m-2. The studied films exhibited good adhesion to the substrate.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of physics D: Applied physics

ISSN

0022-3727

e-ISSN

—

Svazek periodika

37

Číslo periodika v rámci svazku

15

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

2112-2120

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—