Studium mechanických vlastností NCD vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F07%3A00020900" target="_blank" >RIV/00216224:14310/07:00020900 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/49777513:23210/07:00000069

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

Popis výsledku v původním jazyce

The aim of the present paper was to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen. The diamond nucleation process was enhanced by RF induced dc self bias of minus 125 V. The interfacial fracture toughness substantially depended on the process of RF induced dc self-bias application. In case of samples when the RF induced dc self-bias was applied after the introduction of methane into the deposition mixture the interfacial fracture toughness was substantially higher becauseof creation of amorphous carbon intermediate layer between the silicon substrate and the nanocrystalline film.

Název v anglickém jazyce

Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

Popis výsledku anglicky

The aim of the present paper was to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen. The diamond nucleation process was enhanced by RF induced dc self bias of minus 125 V. The interfacial fracture toughness substantially depended on the process of RF induced dc self-bias application. In case of samples when the RF induced dc self-bias was applied after the introduction of methane into the deposition mixture the interfacial fracture toughness was substantially higher becauseof creation of amorphous carbon intermediate layer between the silicon substrate and the nanocrystalline film.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007

ISBN

978-80-969310-4-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

1-4

Název nakladatele

Liss a.s.

Místo vydání

Rožnov pod Radhoštěm

Místo konání akce

Soláň, Rožnov pod Radhoštěm

Datum konání akce

1. 1. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—