Towards limits of x-ray specular reflectivity

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00029733" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00029733 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Towards limits of x-ray specular reflectivity

Popis výsledku v původním jazyce

Using the high resolution diffractometer we have successfully measured photoresist layers more than 1 um thick by x-rays. The thicknesses obtained by x-ray reflectivity correspond well to the ones obtained by optical reflection.

Název v anglickém jazyce

Towards limits of x-ray specular reflectivity

Popis výsledku anglicky

Using the high resolution diffractometer we have successfully measured photoresist layers more than 1 um thick by x-rays. The thicknesses obtained by x-ray reflectivity correspond well to the ones obtained by optical reflection.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F09%2F1013" target="_blank" >GA202/09/1013: Nukleace a růst kyslíkových precipitátů v křemíku</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology

ISSN

1211-5894

e-ISSN

—

Svazek periodika

16

Číslo periodika v rámci svazku

2a

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—