Measurement of plasma potential waveform by an uncompensated probe
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F10%3A00043616" target="_blank" >RIV/00216224:14310/10:00043616 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Measurement of plasma potential waveform by an uncompensated probe
Popis výsledku v původním jazyce
A method is presented that enables measurement of plasma potential waveforms. The method consists of measurement by an uncompensated probe and analysis of the measured waveforms by means of a model of the sheath around the probe. The method was successfully tested in nitrogen capacitively coupled discharge. Strong influence of the sheath around the probe on the probe voltage and correlation between the probe current waveform and the discharge current are shown. At low pressure, the plasma potential waveform contains high amount of higher harmonic frequencies whose amplitudes are comparable with the amplitude of the fundamental frequency.
Název v anglickém jazyce
Measurement of plasma potential waveform by an uncompensated probe
Popis výsledku anglicky
A method is presented that enables measurement of plasma potential waveforms. The method consists of measurement by an uncompensated probe and analysis of the measured waveforms by means of a model of the sheath around the probe. The method was successfully tested in nitrogen capacitively coupled discharge. Strong influence of the sheath around the probe on the probe voltage and correlation between the probe current waveform and the discharge current are shown. At low pressure, the plasma potential waveform contains high amount of higher harmonic frequencies whose amplitudes are comparable with the amplitude of the fundamental frequency.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Sci. Technol.
ISSN
0963-0252
e-ISSN
—
Svazek periodika
19
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000275921200014
EID výsledku v databázi Scopus
—