Behaviour of hybrid PVD-PECVD process of Ti sputtering in argon and acetylene atmosphere
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F10%3A00044659" target="_blank" >RIV/00216224:14310/10:00044659 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Behaviour of hybrid PVD-PECVD process of Ti sputtering in argon and acetylene atmosphere
Popis výsledku v původním jazyce
Hybrid PVD-PECVD sputtering process was studied for the case of titanium target sputtering in argon and acetylene atmosphere. The hybrid PVD-PECVD process combines aspects of conventional sputtering of metal target with hydrocarbon vapour as a source ofcarbon. We present and discuss significant differences between behaviour of conventional reactive magnetron sputtering and such hybrid process.
Název v anglickém jazyce
Behaviour of hybrid PVD-PECVD process of Ti sputtering in argon and acetylene atmosphere
Popis výsledku anglicky
Hybrid PVD-PECVD sputtering process was studied for the case of titanium target sputtering in argon and acetylene atmosphere. The hybrid PVD-PECVD process combines aspects of conventional sputtering of metal target with hydrocarbon vapour as a source ofcarbon. We present and discuss significant differences between behaviour of conventional reactive magnetron sputtering and such hybrid process.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>O - Projekt operacniho programu
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Potential and Applications of Nanotretment of Medical Surface
ISBN
978-80-7372-631-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
—
Název nakladatele
Technical University of Liberec
Místo vydání
Liberec
Místo konání akce
Liberec
Datum konání akce
30. 8. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—