Higher harmonic frequencies in capacitive discharges
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F10%3A00045010" target="_blank" >RIV/00216224:14310/10:00045010 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges
Popis výsledku v původním jazyce
The contribution deals with higher harmonic frequencies that are produced in capacitively coupled discharges due to the nonlinearity of sheaths. Higher harmonics are strong especially at low pressure and they can have a significant influence on plasma. Moreover, they are a tool for plasma diagnostics and monitoring. In this work, dependence of amplitudes of higher harmonics on plasma parameters is studied experimentally. Decrease of pressure causes resonant amplification of harmonics probably related tothe series plasma-sheath resonance. Similarly, decrease of electron concentration lead to a resonant amplification. Further, effects of RF power and state of the matching unit were compared. Finally, it was shown that harmonics sensitively react on presence of a deposited film which makes them suitable for monitoring purposes.
Název v anglickém jazyce
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges
Popis výsledku anglicky
The contribution deals with higher harmonic frequencies that are produced in capacitively coupled discharges due to the nonlinearity of sheaths. Higher harmonics are strong especially at low pressure and they can have a significant influence on plasma. Moreover, they are a tool for plasma diagnostics and monitoring. In this work, dependence of amplitudes of higher harmonics on plasma parameters is studied experimentally. Decrease of pressure causes resonant amplification of harmonics probably related tothe series plasma-sheath resonance. Similarly, decrease of electron concentration lead to a resonant amplification. Further, effects of RF power and state of the matching unit were compared. Finally, it was shown that harmonics sensitively react on presence of a deposited film which makes them suitable for monitoring purposes.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Bulletin of the American Physical Society 55 (2010), CTP142
ISBN
—
ISSN
0003-0503
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
—
Název nakladatele
CNRS
Místo vydání
Paříž
Místo konání akce
Paříž
Datum konání akce
1. 1. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—